本中心的激光直写系统，经过为期一个月的设备安装及工艺调试工作，在物理系3名专家教授及本中心负责人刘松博士的监督下于2018年2月1日顺利完成验收工作，涉及激光直写能力的各项技术指标，包括：线宽均匀性、边缘粗糙度、最小特征尺寸、最小光栅结构、对准精度、直写速度等都达到验收要求。