经过为期一个半月的设备安装、工艺调试，本中心的电子束曝光系统已于2018年5月2日完成验收，在本校设备部大型设备验收负责人孙晓宇博士以及物理系陈远珍教授、本中心负责人刘松的共同监督下完成了验收工作，各项技术指标都达到验收标准并且运行稳定。