南方科技大学量子科学与工程研究院硕士研究生学位论文答辩公告

研究生：张晗 导师：陈廷勇

论文题目：高纯钽薄膜化学气相沉积设备与控制系统设计

答辩委员会成员：

主席：徐平 季华实验室研究员

委员：陈廷勇 南方科技大学研究员

尉石 南方科技大学助理研究员

秘书：陈静静 南方科技大学研究助理教授

答辩时间：2021年5月28日11:00-12:00

答辩地点：福田国际量子研究院319