量子器件与芯片加工中心作为量子科学与工程研究院的重要研发平台之一，量子器件与芯片加工中心已于2017年底完成600平方米超净实验室建设并投入运行、量子器件微纳加工主要设备逐步引进到位。中心支持各类基于硅、氧化硅等材料体系的量子器件与芯片研发加工流程全链条，包括材料生长、薄膜沉积、无掩模电子束光刻和激光直写、刻蚀、微纳器件和芯片加工、功能和性能测试等主要环节。专业工程技术人员队伍提供高质量、高重复性的工艺支持。量子器件与芯片加工中心计划于2018年中旬全面投入量子芯片加工使用，技术达到国内领先、国际一流水准，将为量子计算项目顺利展开提供重要实验保障。


中心功能：

1. 拥有全程无掩模、有掩模的光刻能力，其中无掩模包括无掩模的电子束曝光和激光直写。

2. 拥有气相沉积高质量氮化硅和二氧化硅等介质材料和薄膜及厚膜材料，能磁控溅射镀膜以及电子束蒸发镀膜。

3. 具备氧化硅、硅、光刻胶等聚合物材料干法刻蚀的条件。

4. 具备微纳结构的器件和芯片的微结构的表征能力。