在量子器件与芯片加工中心使用任何新化学品或气体产品前，必须提交《化学品安全说明书（MSDS）》予中心审批，其后《化学品安全说明书》的副本将储存于红色活页夹内，并摆放于以下四个位置以供查阅，包括：
1.实验室入口（慧园3栋106）
2.千级区域湿法工艺台附近
3.百级区域冷藏箱附近（「黄光区」）
4.特气间、普气间和空压机间

《化学品安全说明书》旨在为用户提供以下信息：
1.产品的危害
2.如何安全地使用产品
3.在未有跟随指引下可能引致的后果
4.遇上意外发生应如何处理
5.如何辨识过度接触的征状

6.遇上过度接触应如何处理


《化学品安全说明书》包含八类信息：
1.产品信息：产品名称，以及制造商与供货商的名称、地址和紧急联络电话
2.危险化学组分
3.物理数据
4.燃烧或爆炸数据
5.反应活性数据：产品的化学稳定性，以及有可能与其产生化学反应之物料
6.毒理学特性：对健康的影响
7.预防措施
8.急救措施

化学品安全说明书链接(分无机物、有机物和气体)

Inorganic Organic Chemicals Gasous
Ammonium Hydroxide Acetone Ammonia
Acetic Acid IPA Argon
Cr Etchant AZ 1518 Photoresist Boron Trifluoride