量子器件与芯片加工中心提供多种设备，分为不同工艺模块，包括光刻工艺设备、物理气相沉积镀膜工艺设备、化学气相沉积镀膜工艺设备、刻蚀工艺设备、封装工艺设备，以及表征设备和其他辅助设备等。各工艺设备分别进行特定的工艺流程。