我们的实验室设有多种安全装置。用户可在我们所提供的培训课程中认识安全装置的位置及操作方法。以下是设于我们实验室的部分安全装置：
洗眼器及安全淋浴间
急救箱
紧急求救电话簿
疏散路线
紧急照明
个人保护装备
《化学品安全说明书》
紧急安全设备
灭火毡
危险气体泄漏警报系统

个人保护装备旨在确保实验室用户和职员的安全。合适的个人保护装备放置于任何可能有危险的设备旁，如湿化工艺台。个人保护装备包括：
面罩，用以保护面部和颈部
安全眼镜，用以保护眼睛
空气净化呼吸器，用以防御有害气体和微粒。

危险气体泄漏警报系统设于芯片加工中心千级区，于任何有毒气体从设备或危险气体储存室泄漏时发出警报。在我们实验室中使用的化学气体包括：
硅烷（SiH4）
氯气（Cl2）
三氯化硼（BCl3）
氨气（NH3）

以上部分气体有毒、具腐蚀性和易自燃，因此以气瓶储存，并放置于负压储存柜内。危险气体泄漏警报系统会监察气瓶，确保没有异常情况。如其中一个气瓶的气体浓度超过设定值，系统会发出声音警报，同时关闭气瓶。系统亦会监控任何有危险气体在内的设备。

实验室内不同区域装有六台危险气体泄漏报警器，当任何一台报警器触动警报系统，用户必须依照疏散程序立即离开实验室。