当发生危险气体泄漏事故时,芯片加工中心的警报系统会发出声音报警。警报一旦被触发,用户应立即通知我们的工作人员,并在需要时快速离开实验室。芯片加工中心装有不同功能的警报系统。

1. 危险气体泄漏警报系统
 
危险气体泄漏警报系统设于芯片加工中心千级区及特气间,于任何有毒气体从设备或危险气体储存室泄漏时发出警报。实验室内不同区域装有五台危险气体泄漏报警器,当其中任意一台报警器触动警报系统,用户必须依照疏散程序立即离开实验室。

2. 漏水报警系统

漏水报警器设于芯片加工中心所以存在漏水隐患的区域。当侦测到任何漏水故障时,将触动报警,用户应立即通知我们的工作人员。

3. 超纯水警报系统

超纯水警报系统设于芯片加工中心超纯水间,会发出多种警报。

超纯水储水罐高水位
超纯水储水罐低水位
漏水故障
系统故障

如上述任何一种警报被触动,用户必须通知我们的工作人员。