微粒数量
每月测量无尘室不同位置的微粒数量，以保持百级和千级无尘室的标准。
排气
三部独立排气扇；不锈钢腐蚀性气体排放系统；镀锌溶剂气体排放；不锈钢有毒气体排放；排气故障警报。
环境监控
温度22.5℃±1；湿度50%±相对湿度±5%；每个区域均设有数码监控；0.1℃及1%相对湿度分辨率
空调系统
九个空气处理装置（每隔间一个）；15℃冷水输送到每个空气处理装置的线圈，以适当地控制温度；独立外气空调箱以控制湿度，并有可调校风速的风扇以控制室内压差和空气平衡；为每个空气处理器提供蒸汽加湿。
压缩空气
6bar 气压；双无水微油压缩机；双空气干燥塔；露点仪；-40℃压力露点；三重过滤；每道墙均有管道输送，并设有多个端口和使用点监管。
氮气
由置于大容量LN2气罐的雾化器产生；6bar 气压；每道墙均有管道输送，并设有多个端口和使用点监管。
去离子水
18MΩ；反渗透输入；0.2μ过滤；每道墙壁均设有端口，以管道输送至两台通风橱操作台。
电气
220V；1Ø；墙上设有三块电线面板为桌面设备提供电源；360V；3Ø；四独立线为大型设备提供电源；每台设备附近均设有紧急停机掣；芯片加工中心墙上装有每组设备的空气开关。
导电地板
焊缝；电极之间的电阻经测试为25kΩ至1MΩ。