深圳市量子科学与工程研究院量子器件与芯片加工中心在深圳市政府和南方科技大学的大力支持下，于2018年初完成实验室建设并启动运行，中心定位以超导等量子计算芯片研究和高性能量子器件研发为主要方向，开展重大基础与应用课题攻关。

目前，中心已购置电子束曝光机、激光直写机、刻蚀机、镀膜机等40余套科研装备，实现在量子计算芯片和高性能量子器件研究领域完备的科研支撑能力，具有国内一流的科研环境和实验条件。

在量子芯片与量子器件研究领域，中心已与国内外知名大学和高水平研究机构建立了广泛的科研合作和人才培养交流。

标题	时间
我中心对第三批校内用户进行了洁净空间综合培训	18.05.22
本中心感应耦合离子刻蚀机目前已经到货已完成验收	18.05.16
我中心第一批校内用户完成了洁净空间综合培训及理论考核	18.05.15
本中心于2018年5月11日针对第二批校内需求用户进行洁净空间综合培训及激光直写设备操作培训	18.05.15
本中心的反应离子刻蚀机正在目前已经完成验收工作	18.05.11
本中心于2018年4月20日针对第一批校内需求用户进行洁净空间综合培训及激光直写设备操作培训	18.04.23
本中心的电子束曝光系统完成安装、工艺调试及验收	18.04.23
本中心的激光直写系统已于2018年1月完成验收	18.02.01

分工 Module	责任工程师 Staff in charge
中心主任 Center Director	刘松 Dr. Song Liu
光刻及电子束曝光系统 Photolithography and EBL Module	贾浩 Mr. Hao Jia
刻蚀及薄膜沉积系统 Etching and PVD Module	宋秋明 Dr. Qiuming Song
测量表征系统 Measurement and Characterization Module	张礼博 Mr. Libo Zhang